M-341DG-1D-VCR   M-342DG-13-VC8

日本CANON佳能真空计M-341DG-1D-VCR

电容式压力计M-342DG是一种膜片式压力计，可实现精 确、稳定的压力测量，并具有*小的零点调整。

这是使用小型硅MEMS芯片作为压力传感器单元来实现的，以*小化来自外部环境的影响，例如温度、振动和大气压力的变化。

日本CANON佳能真空计M-342DG-11-N16

特征

高精度、稳定的压力测量

・卓越的零点稳定性。

・具有低的温度依赖性，在不需要温度调节机构的情况下提供优异的稳定性。

调整机制。

・卓越的抗振动噪音性能。

结构紧凑，功耗低

・200g，W46mm×H49mm×L70mm紧凑，重量轻。*1

・功耗0.5W。

*1:联轴器尺寸和重量NW16规格

应用

除了半导体制造设备、面板显示器制造设备和其他真空设备外，还支持广泛的通用行业应用，如医疗和食品。*2

*2：不适用于使用腐蚀性气体的应用场合。

详情请咨询我们。

规格

M-342DG型

-1D-1N-11-12-13

满刻度压力（Pa）13.33 133.3 1.333k 13.33k 133.3k

（托）0.1 1 10 100 1000

准确度（读数的%）

0.20（23℃时）

零温度

漂移系数（F.S./℃的%）0.01 0.005 0.002

量程温度

漂移系数（读数%/℃）0.01 0.005

分辨率（满刻度的%）0.01 0.005

*低读数（满刻度的%）0.01

的*低建议压力

读数（满刻度的%）0.05

的*低建议压力

控制（满刻度的%）0.5

响应时间（毫秒）100 30

压力极限（Pa）200 kPa（绝 对压力）但是，对于M-342DG-1D（对于NW16和NW25，内部区域不得处于

正压）

输入电压（VDC）

+13.5 - 26.4

功耗（W）0.5或更低

信号输出（VDC）0至10

工作温度（℃）0-50

储存温度（℃）

-20至70（不工作）

*大电缆长度（m）

100 (0.3㎟)

零点调整方法

遥控输入按钮开关

连接器类型

D-sub 9针外螺纹（配对螺钉：#4-40英寸）

暴露在真空中的材料

硅，玻璃，SUS304，sus316，氟橡胶

法兰形状

NW16、NW25、8-VCR、φ70ICF

符合CE标志、RoHS、IP40

安全出口管制条例不适用

陈列

M-601GC（1ch）、M-603GC（3c）

尺寸

电容隔膜计M-342DG

Parts Number

Parts Number Model Description Remarks Code

0160-12049 M-341DG-1D-N16 Capacitance Gauge (13.3Pa) Coupling: NW16 22735

0160-12057 M-341DG-1D-N25 Coupling: NW25 22736

0160-12065 M-341DG-1D-C70 Coupling: φ70ICF 22737

0160-12073 M-341DG-1D-VCR Coupling: 8-VCR female 22738

0160-11645 M-341DG-1N-N16 Capacitance Gauge (133Pa) Coupling: NW16 22710

0160-11653 M-341DG-1N-N25 Coupling: NW25 22711

0160-11661 M-342DG-1N-C70 Coupling: φ70ICF 22712

0160-11679 M-342DG-1N-VCR Coupling: 8-VCR female 22713

0160-11459 M-342DG-11-N16 Capacitance Gauge (1.33kPa) Coupling: NW16 22715

0160-11467 M-342DG-11-N25 Coupling: NW25 22716

0160-11475 M-342DG-11-C70 Coupling: φ70ICF 22717

0160-11483 M-342DG-11-VC8 Coupling: 8-VCR female 22718

0160-11140 M-342DG-12-N16 Capacitance Gauge (13.3kPa) Coupling: NW16 22720

0160-11158 M-342DG-12-N25 Coupling: NW25 22721

0160-11077 M-342DG-12-C70 Coupling: φ70ICF 22722

0160-11166 M-342DG-12-VC8 Coupling: 8-VCR female 22723

0160-11093 M-342DG-13-N16 Capacitance Gauge (133kPa) Coupling: NW16 22725

0160-11108 M-342DG-13-N25 Coupling: NW25 22726

0160-11116 M-342DG-13-C70 Coupling: φ70ICF 22727

0160-11124 M-342DG-13-VC8 Coupling: 8-VCR female 22728