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日本电子工业JEOL碳精涂布机EC-32010CC
发布时间：2024-03-26
カーボンコーターは、走査電子顕微鏡などの元素分析用の試料に、カーボン蒸着を行う試料作製装置です。
特長
蒸着源には高純度の専用カーボン棒を使用しており、不純物の少ない膜が仕上がります。
カーボン棒をクリップ状の電極に簡単にセットすることができます。
試料台の高さを調整することで膜厚を調整できます。
仕様・オプション
| 使用圧力 | 20 Pa以下 |
|---|---|
| 排気速度 | 3 Paまで10分以内（試料が無い場合） |
| カーボン電極 | 1組 |
| 蒸着源 | 専用カーボン棒（直径 1mm） |
| 試料台 | 直径 64 mm |
| 蒸着源－試料台距離 | 135～165 mm |
| ベント時間 | 30秒 |
| 排気系 | 直結型ロータリーポンプ 135 L/min 過温度保護機能組込み |
| サービスコンセント | 1個 AC100V 1A (試料回転傾斜装置用） |
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