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日本长野圧力計GW28-S04
发布时间：2024-04-22
日本长野圧力計GW28-S04
日本长野圧力計GW28-S04
日本长野圧力計GW28-S04
GW28半導体産業用圧力計
半導体集積化プロセス向け
半導体高純度ガス、及び腐食性ガスの雰囲気等の条件下でも優れた性能を発揮します。
気密性・洗浄度に対しても充分考慮して製作されており、半導体プロセス等、特に高純度流体向けに適した圧力計です。
認証規格： 
特長
・φ28サイズの小径タイプのため、集積化マウントの省スペース化に貢献できます。
・接ガス部は、従来のＣ形ブルドン管に比べ、単純なダイアフラム式であるため、洗浄やガスフラッシングが容易に
出来る構造です。
・従来品（小型ブルドン管式）に対して接ガス部内容積は、約1/2となりガスが滞留するデッドスペース（接ガス部
内容積）が大幅に低減されています。
＊圧力計を選定される際は、性能を十分発揮できるよう、常用圧力の上限が以下の範囲となるように圧力レンジを
選定してください。
定圧力の場合：圧力レンジの*大値の3/4以下
変動圧力の場合：圧力レンジの*大値の2/3以下
また記載の接ガス部材質が測定流体に適合したものであることをご確認ください。
詳しくは、JIS B 7505-1をご覧ください。
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