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日本CANON-ANELVA佳能真空计M-361CP-RS/M-361CP-SP
日本CANON-ANELVA佳能真空计M-361CP-RS/M-361CP-SP
大気圧から測定できる手軽さと、高いコストパフォーマンスを併せ持つ用途の広いピラニ真空計です。低・中真空領域の測定用として、各種システム搭載用として、食品、自動車、医薬品をはじめ、様々な産業でご使用いただけます。
＊1）M-601/603GC表示器を接続する場合はゲージケーブルの*大長は100ｍとなります。コンポーネント
仕様
型 名 ピラニゲージ M-350PG-SD
スタンダードタイプM-350PG-SP
セットポイント付タイプM-350PG-RS
RS485タイプ設定圧力範囲 5×10-2 ～ 1×105 （Pa） 精度（Pa） ±50 ％：5×10-2 ～ 1×10-1
±15 ％：1×10-1 ～ 1×104
±50 ％：1×104 ～ 1×105再現性 ±2 ％：1×10-1 ～ 1×104 Pa 入力電圧 DC+14 ～ 30 V 消費電力 1 W アナログ出力 0 ～ 10 V - ゲージ認識抵抗値 13 KΩ（D-sub.5-9ピン間） セットポイント － 2接点出力（1 A 30 V,DC） インターフェース － RS485 入出力コネクタ D‐sub9ピン *大ケーブル長 200 m（0.34 mm2）対応可能＊1 使用温度範囲 5 ～ 60 ℃ 保存温度範囲 -20 ～ 70 ℃（非動作時） ベーキング温度 ＜＋150 ℃（Oリング仕様、ゲージヘッドのみ）
＜＋300 ℃（メタルシール仕様、ゲージヘッドのみ）許容過負荷圧力 1 MPa（継手形状NPTに限る、不活性ガスに限る、絶対圧） 適合ピラニセンサ型名 MP-1 フランジ形状 NW16､NW25､φ34ICF､1/8NPT､φ15アダプタ、φ18アダプタ センサー材質（主要部） ピラニフィラメント：タングステン
センサーチューブ：ステンレス
導入端子絶縁部：コバールガラス対応 CEマーキング、RoHS、IP40
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