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日本ULVAC爱发科

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日本爱发科ULVAC真空计SW1-N1/ SW1-1
发布时间:2024-09-03


日本爱发科ULVAC真空计SW1-N1/ SW1-1


特点

  • 测量范围:可以进行从大气压到5×10-2 Pa

  • 抗冲击性提高:具有高抗冲击性的结构设计(正在申请专利)

  • 优异的大气压精度:无论真空计的安装位置如何,精度均在±20%以内(日本专利第4878289号)

  • 灯丝材料·铂(Pt):由高度耐腐蚀的铂制成的灯丝

  • 可视化程度提高:配备可确认异常的LED

  • 一触式调整:一键式即可进行大气压力调整和零点调整

  • 维护:更换测定子更轻松

  • 适用测定子扩展:除了NW16 / 25规格外,还将Φ15/ 18规格,拼接法兰规格和锥形螺丝R1 / 8规格添加到产品阵容中

用途

  • 太阳能电池・FPD・半导体・电子部件等各种制造设备

  • 用于设备的低真空领域的工艺控制

  • 用于炉等各种工业设备的低真空领域的工艺控制

  • 用于in-line式・枚叶式等工艺腔室多的各种制造设备的低真空领域的工艺控制

  • 用于有振动・冲击的各种真空排气系统

规格

ModelSW1-1SW1-2
Connectable sensor head1 pc
Compatible sensor headSWP-16(NW16), SWP-25(NW25), SWP-R1/8(R1/8), SWP-P18(φ18), SWP-P15(φ15), SWP-CF16(ICF034), SWP-1S(ASME BPE sanitary 1")
Measurable pressure range5.0×10-2 ~ 1.0×10+5 Pa(Pa(表示範囲:1.0×10-2 ~ 1.2×10+5Pa)
Accuracy*1×10-1 Pa ~ 1×10+4 Pa : ±10%
5.0×10-2 ~ 1.0×10-1 Pa, 1×10+4 Pa ~ 1×10+5 Pa : ±20%
Repeatability1×10-1 Pa ~ 1×10+4 Pa : ±2%
Sampling time50ms 5回の移動平均処理
Value outputOutput voltage DC 0 to 10V
Pressure indication (Log) 1.7V to 8.0V 1V/decade
(Update time) 50ms
Control input signalOpen collector input, Negative logic-
ADJ Adjustment (ZERO point, atmosphere adjust)-
Control output signal

Open collector output, negative logic [rating: 30VMAX, 50mAMAX, 70mW]

-
Error signal-
Set point 1, 2-
Monitor for setpointSet point 1, 2: 0 to 10V Log output-
Serial communication type-RS232C/RS485
LED displayPOWER/ERROR: Power error LED
SET-1: Set point 1LED-
SET-2: Set point 2LED-
Materal of filamentPt
Operating temperature range10 ~ 40℃
Operating humidity range15 ~ 80% (Not condensing)
IP ratingIP30 (Sensor unit)
Fixing positionFree
Power supply voltageDC18V ~ 30V, 2W (4.8W w/power input)
Input/output connectorD-sub 15-pin (M2.6mm screw) - side sensor unit
Weight150g (with SWP-16)
Dimension (Power supply) W×D×H70mm×46mm×28mm
Standard accessoriesQuick manual
OptionInput/output conector (D-sub 15-socket (M2.6mm screw)), Inspection result data sheet, General calibration test report, JCSS caribration certificate
Applicable standardCE

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